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合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

 

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  • 产品名称: 双管滑轨RTP快速升温炉

 

 

        可根据用户需要设计生产(有双温区、三温区、多温区),可预抽真空(有高真空、低真空),通多种气氛(供气系统有质子流量器和浮子流量控制器)。真空泵、阀采用进口设备,性能可靠。控制电路选用模糊PID程控技术,具有控温精度高,温冲幅度小,性能可靠,简单易操作等特点。在预热方式上设有自动升温预热程序。在程序下完全不需要操作人员监看、调整工作电流,可将工作人员从繁琐的操作中解放出来

 

 

额定功率
KW
7
额定电压
V
AC 208-240V Single Phase50/60 Hz
最高温度
12001 hour
工作温度
≤1100
最快升&降温速率
/S
≤20
炉管尺寸
mm
加热区长度
mm
300+300+300
恒温区长度
mm
150+200+150
可移动范围
mm
1760
控温方式
 
模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度
±1
加热元件
 
电阻丝(进口康泰尔电阻丝)
法兰
 
 
进气端法兰
出气端法兰
进出气口选配
质量流量计量程
50sccm100sccm100sccm200sccm.(量程可根据客户要求配置)
标准配置
石英管2根(内管和外管各1根),不锈钢密封法兰1套,硅胶密封圈2套,氧化铝管堵2只,高温手套1副,坩埚钩1
可选附件
认证标准
 
尺寸
mm
1080×440×590mm (炉子)
2000×490×760mm(炉子+滑轨)
包装尺寸
mm
2070×570×1110(木箱包装)
净重
Kg
195
毛重
Kg
260

 

 

 

 

 

产品名称
产品型号
产品图片
产品尺寸
BTF-1200C-S-SL
 
 
单温区滑轨炉 BTF-1200C-SL  
BTF-1200C-II-SL
 
 
BTF-1200C-III-SL
 

 

 
 
 多种辅助功能选配区
 
 
 
CVD系统               PECVD系统 

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