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合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

 

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  • 产品名称: 卷对卷石墨烯膜连续生长设备

   卷对卷石墨烯膜连续生长设备是一款中试水平的化学气相沉积系统,具有快速冷却、连续生长的特点,通过对石墨烯成核与生长的调控,实现大面积、高质量的单层石墨烯在工业铜箔基底上的规模化生长。此款设备还可以应用于碳化硅纤维的制备。

 

技术参数: 

  

参数选项

 

   

额定功率

KW

6

 

额定电压

V

AC  208~240V

50~60  HZ

最高温度

1200

 

持续工作温度

1100

 

推荐升温速率

/min

40

 

炉管尺寸

mm

φ80X1700

铜箔基底宽度:≤70mm

加热区长度

Mm

200+200+200

 

恒温区长度

mm

400

 

控温精度

±1

 

**

mm

2800*600*1280

 

净重

kg

400

 

加热元件

进口电阻丝C

认证标准

CE

 

功能模块:

 

收放铜箔密封装置模块

进料进气真空腔室与出料排气腔体外壳以亚克力为主要材料,电机带动铜箔在密闭生长条件下运动,并通过冷却装置后收紧成卷。

 

                

            模拟简图                    安装铜箔方法

温度控制系统

人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制。

 

                    

等离子体发生器模块:

 

RF射频电源等离子辅助模块,大大降低了石墨烯的生长温度,使铜箔的机械强度适合连续收放。

 

                    

快速冷却模块

 

铜箔移出腔体,26个电扇从不同的角度石英管快速降温,保证石墨烯高质量的制备。

 

                    

真空系统                                                        

 

 

 

进出气系统

真空机组内含真空泵,数字真空计以及相关的连接调节阀,可提供一个可控的低压环境

 

 

 

内部装有高精度质量流量计,可准确控制气体的流量;设有静态混气室,有助于气体充分混合,按要求配比。

自动化控制

 

 

1、内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据。

 

 

2、系统采用自动化工艺流程,设定好工艺一键操作。降低人为因素,工艺可靠性可以达到99.9% 

 

 

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