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合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

 

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  • 产品名称: 卷对卷等离子增强CVD设备 R-T-R

      该设备为我司研发用于石墨烯薄膜连续生长或者线性材料的连续的专用设备,此款设备是快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉,它由高温生长腔体,三路质量流量计气路系统,真空机组,RF射频电源模块,石英管,冷却装置,收放的密封装置,自动化控制系统组成,两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室(即收放铜箔或纤维丝的密封装置),收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮,所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点,可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长或者线性材料的连续生长纤维生长工艺,配有纤维张力计,可以通过调节电机转速,以便达到纤维连续进出且受力均匀)

 

 

技术参数:

 

额定功率:7KW

额定电压:AC 208-240V ,50/60 Hz

最高温度:1200℃

持续工作温度:≤1100

升温速率:≤30/min

炉管尺寸:高纯石英管Φ80×2000mm

加热区长度:300+300+300mm

恒温区长度:500mm

控温方式:宇电仪表

控温精度:±1

加热元件:进口电阻丝

真空度可达10-1Pa 

真空泵抽速:4L/S

气路系统内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量;设静态混气室,有助于气体充分混合,按要求配比。

准确度:±1.5%

线性:±0.51.5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围:0.10.5 MPa

最大压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:液晶屏显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止阀:Φ6

射频信号频率:13.56MHz±0.005%W

功率输出范围:0-500W

 

 

细节展示:

 

 

       

 

 

 

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