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  • 产品名称: 小型滑轨式PECVD系统BTF-1200C-S-SL-PECVD

 

 

 

         微型滑轨式PECVD系统,电源范围宽:0-100W可调; 温度范围宽:100-1200度可调;溅射区域宽:整管可调;其精致小巧,性价比极高,滑轨式设计使用滑轨炉实现快速升温和降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

 

 

产品型号:
BTF-1200C-S-SL-PECVD
实验机理:
PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。
技术参数:
 
反应腔体尺寸:Φ25、Φ50x1200mm
加热元件:电阻丝(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)
加热区长度:230mm
恒温区长度:100mm(±1℃)
工作温度:1100℃
最高温度:1200℃
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1℃
升温速率:10℃/min
炉门结构:开启式
工作电源:AC220V /50HZ
额定功率:2.5KW
采用KF25系列波纹管和手动挡板阀;
真空度可达10-3torr;
数显真空测试仪可直观的显示数值。
内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量;
气体流量范围可选,误差为±1.5%;
一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀;
不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入。
射频电源与匹配器
电源:单相50/60Hz 220v±10%
加热(功率)电源:2.5KW,25A
控制柜电源空气开关:32A空气开关 
薄膜生长室温度:室温~ 1200℃
信号频率13.56 MHz±0.005%
射频功率输出范围:0~100W
外型尺寸:
炉体:550×380×600mm
炉体加滑轨1500x380x620mm
供气及真空系统:600×600×600mm
净重:
100Kg
认证和专利
CE认证
专利号:ZL201320052532.0  (专利产品 ,防伪必究)

关键词:

 

 

 

 

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