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合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

 

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  • 产品名称: 双温区滑轨式PECVD系统BTF-1200C-II-SL-PECVD

 

 

 

 

   智能PECVD设备是目前最新型的一款设备,将所有的控制部分集为一体,此款设备是我司在2013年获得专利的设备。高温真空加热炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求,关键电气元件采用优质的进口产品,做到高性能、免维护,提高了设备质量的可靠性适用范围宽:金属薄膜,陶瓷薄膜等,复合薄膜,连续生长各种薄膜等。增加功能容易,可扩展等离子清洗刻蚀等功能。

 

 

1.薄膜沉积速率高:射频辉光技术,大大的提高了薄膜的沉积速率,沉积速率可达10Å/S;
2. 大面积均匀性高:采用了先进的多点射频馈入技术,特殊气路分布和加热技术等,使得薄膜均匀性指标达到8%;
3. 一致性高:用半导体行业的先进设计理念,使得一次沉积的各基片之间偏差低于2%;
4. 工艺稳定性高:高度稳定的设备保证了工艺的连续和稳定;

5.专利号:ZL201320052532.0  (专利产品,防伪必究)。

 

 

 

 

加热系统

 

最高温度

1200℃(1 hour)

使用温度

1100

炉膛有效尺寸

Φ60*1650mm(炉管直径可根据实际需要定制。)

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定,

操作界面为10”工控电脑,内置PLC控制程序,

ƒ可将温控系统、滑轨炉滑动(时间和距离)设定为程序控制

加热长度

200+200mm

恒温长度

200mm

加热原件

电阻丝

供电电源

单相,220V50Hz

额定功率

3KW

 

 

PE射频电源

 

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

500W

最大反射功率

500W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定度

±0.1%

谐波分量

≤-50dbc

供电电压

单相交流(187V-253V 频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

 

 

四路质子流量控制系统

 

外形尺寸

600x600x650mm

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm,100sccm、200sccm;500sccm

可根据用户要求定制

准确度

±1.5%

线性

±0.51.5%

重复精度

±0.2%

响应时间

气特性:14 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.10.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

 

 

低真空机组VAU-02

 

空气相对湿度

85%

工作环境

5℃~40

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

外形尺寸

600×600×600mm

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

电阻真空计参数:

配用规管:

ZJ-52T电阻规,

测量范围:

10 5 ~10 -1 Pa

测量路数:

1路

控制范围:

 5×10 3 5×10 -1 Pa

控制方式:

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (DC28V/3A)无感负载,

电源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗:

20W


 

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