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合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

 

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  • 产品名称: 连续进出料等离子体增强回转设备-BTF-1200C-RP-EPCVD

1. 主要用途

该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),连续可控温度以及Plasma强度等,配备真空系统,可以低压条件下实现工艺,PECVD系统

能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光相对均匀等效,很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,该设备炉管可360°旋转,有助于粉

料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间,所有物料经过的管道都选用非金属材质,如:进出料腔体选用石

英材质,推料杆选用石英及聚四氟材质。

 

2.结构与原理图:

 

                                             结构图

 

设备组成:加热系统,Plasma系统,进料系统,出料系统,气体控制系统,低真空系统,气料分离系统,过滤系统,炉管转动系统,电控操作系统。

(1)加热系统:

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研

究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电

压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可

自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

额定功率

4KW

额定电压

AC220V  50/60Hz

最高温度

1200度

使用温度

1100度

设备尺寸

长*宽*高 2100*600*1200mm

炉管尺寸

Ø60*420*2+Ø100*360mm*

炉管旋转速率

0~60r/min

炉体倾斜角度

0~35°

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制品

热电偶类型

K型热电偶

控温精度

±1℃

控温方式

30段可编程控温,PID参数自整定,

操作界面为10”液晶触摸屏控制

加热长度

200mm+200mm

恒温长度

250mm

加热元件

电阻丝

 

(2)Plasma系统:

 

本系统借助于辉光放电产生等离子体,辉光放电等离子体中,电子密度高,通过反应气态放电,有效利用了非平衡等离子体的反应特征,从根

本上改变了反应体系的能量供给方式。

 

(3)进料系统:

 

送料系统速度连续可调,停止送料且炉体倾斜最大时,物料不会从送料系统外漏,送料系统方便拆卸,拆卸后可手动加料,设备可正常运行。

 

(4)出料系统:

 

出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。

 

(5)气体控制系统:

 

该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的,也可以独立控制,质量流量计安装于密封的可移动的机柜内,由超洁双抛不锈

钢管与精密双卡套接头连接组成。

 

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

第一路:  200 SCCM

第二路:  500 SCCM

准确度

±1.5%F.S

线性

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1~0.5 MPa

最大压力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显示

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

 


(6)低真空系统:

该系统配备真空机械泵,可以抽真空,可以让设备在真空环境下进行反应。

 

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF25

排气口口径

KF25

噪音

50dB

外形尺寸

600×600×600mm

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

 

(7)气料分离系统:

该系统可以让设备在充气体保护或者抽真空时,实现气体与物料的分离。

(8)过滤系统:

该系统可防止物料进入真空泵,保证真空泵的正常运行。

(9)炉管转动系统:

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。

 

 

3.技术指标:

 

(1)该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;

(2)整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间可调;

(3)送料系统送料速度连续可调,停止送料且炉体最大倾斜时,物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸,拆卸之后可以手动加料,设备可

正常运行。

(4)炉管回转稳定,不会上下左右跳动;转速在0~60r/min连续可调,能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)。

(5)炉子转速,加料速度,倾斜角度,真空度,气体流量,温度,运行时间,等离子体功率等参数都用数字显示,并在运行过程记录设备整个

运行轨迹及上述参数(在工控及独立电脑上均能实现);

(6)设备运行可分为手动模式与自动模式;自动模式下可实现高度自动化运行,所有参数程序设定好后自动运行:可实现按照设定程序连续工

作,可设置多工作段不同参数,并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作;