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合肥百思新材料研究院

合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

 

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  • 产品名称: 蒸镀仪 VDS-600C-120

技术参数:

真空腔室:φ120*H350mm

基片架:转速可调

最大可镀工件直径:φ60mm

极限真空度:2X10-4Pa

抽气时间:≤30min

功率:150W

真空系统:进口分子泵

蒸发温度:80-600度

膜厚仪:单通道