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合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

 

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  • 产品名称: BZD-300 多源政法蒸发镀膜系统

 

一、系统功能及构成

1. 该系统为多源蒸发镀膜系统, 系统可用于开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜。系统主要由镀膜室、金属蒸发源(2套独立,配电源)、旋转样品台、分子泵组、真空测量系统、膜厚仪、气路系统、电控系统等组成。

2. 镀膜极限真空度:≤10-5 Pa (经烘烤除气后);

真空获得采用分子泵(1200L/S)和机械泵(8L/S)+CF200主阀组成,此配置具有抽速快,可获得高真空环境,提供薄膜的洁净度。

真空泵组前配有冷凝过滤井,放置蒸发材料污染真空系统。

系统真空检漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S;

系统从大气开始抽气:溅射室30分钟可达到5x10-4 Pa;

系统停泵关机1小时后真空度:≤5Pa

3. 镀膜室中配有2组热蒸发源,、分布在一个圆周上(下底盖位置均匀分布),各源可独立/顺次工作,配个圆形旋转挡板,挡板缺口移到哪个工位,哪个工位材料可以蒸发。

4. 样品台布置在真空室上部,可放置最大6英寸样品1片,样品具有连续旋转功能,旋转0—30转/分连续可调。

5. 真空测量采用进口INFICON 全量程规进行测量。

6. 系统配有二路国产口MFC控制进气系统,流量分别为100SCCM、50SCCM。

7. 系统配有1个INFICON膜厚仪。

二、系统的主要组成及技术指标

溅射室极限真空度:≤10-6Pa(经烘烤除气后);

系统真空检漏漏率:≤5.0x10-8Pa.l/S;

系统从大气开始抽气:溅射室35分钟可达到5x10-4 Pa;

1、溅射真空室                                      

真空室为方形前开门结构,尺寸350mmx400mmx350mm(宽X高X深)全不锈钢结构。可内烘烤到100~150℃,选用不锈钢材料制造,氩弧焊接,表面进行电化学抛光国内首家钝化处理,接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封;手动前开门结构;蒸发源安装在下盖板,基片转台在顶部,左侧面设置有光纤旋转装置。

 

2、镀膜源                                

、2套蒸发源;

3、旋转转基片台                                

3.1 基片尺寸和数量:6英寸样品一次放置1片。

3.2、基片公转由调速电机驱动,0—30转/分连续可调,转动速度

4、工作气路                                    

4.1、100SCCM、50SCCM质量流量控制器(国产)、DN6电动截止阀、管路、接头等:共2路

5、抽气机组及阀门、管道                        

5.1、分子泵;

5.2、机械泵:;

5.3、DN40电动截止阀:1台;

5.4、机械泵与真空室之间的旁抽管路:1套;

5.5、CC200气动闸板阀:1台;

5.6、DN40旁抽角阀:1台

5.7、配备一套低温冷阱及压缩机组件

6、安装机台架组件                          

优质方钢型材焊接成,快卸围板表面喷塑处理;机台表面用不锈钢蒙皮装饰;四只脚轮,可固定,可移动。

7、真空测量                                

溅射室采用进口INFICON 复合规进行测量。

 8、系统采用PLC+触摸屏半自动控制方式