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合肥欧莱迪光电科技有限公司

 

 

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  • 产品名称: BZD-300 真空镀膜机

主要特点

 

BZD-300型真空镀膜机是我公司研发,用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜。设备由真空室、真空机组和电气系统组成,具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点,特别适合小型企业、科研单位和高校的使用

Technical Parameters

技术参数

真空室

φ300*H450mm

基片架

可放一个基片,可自转,转速可调

最大可镀工件直径

φ180mm

极限真空度

优于10-4Pa

抽气时间

大气压~5*10-3Pa小于30min

蒸发

电阻式蒸发电极(3对)

功率:1.5KW

加热及烘烤

碘钨灯加热及烘烤,最高温度:800

开启方式

前开门方式

真空系统

分子泵机组(配冷阱和储气罐)

设备结构介绍

 

1. 真空室

箱式结构,前开门。不锈钢材质,配φ100观察窗、预抽接口、充气接口;内部有底板、蒸发源、溅射源,烘烤装置等;

2. 真空系统

采用扩散分子泵组。采用真空波纹管连接,配有真空测量仪表,具备真空互锁机构。

3. 电气系统

电气系统包括真空机组控制、蒸发与加热控制、真空测量控制等部分组成。

 

 

 

 

 

 

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